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半導体治具洗浄装置

自動研磨装置

処理速度短縮と洗浄品質向上!

  • プロセスに合わせてカスタマイズOK!
  • ローコストでご提供!
  • 生産性および品質アップ!
  • 処理価格の改善による収益アップ!

磨き残しはありませんか?
磨き作業の重労働からの解放!

  • ワークのハンドリングによる重労働がきつい
  • 単純作業、作業者による磨き残しなどのバラつきがある
  • 細部までの研磨処理にかかる時間的負担を減らしたい

その問題、『自動研磨装置』が
解決します!

ワークを投入するだけで汚れを除去!

自動研磨装置

円筒形のパーツを回転させながら研磨材・研磨液・超純水でミクロン の汚れを取る装置です。
あらかじめ設定された各種プロセスに応じて自動的に処理を実施します。 ワーク搭載ミスを防止し、小刻みな回転速度制御ができます。
また、研磨剤有無監視機能による空磨きの防止もできます。

レーザー照射で頑固な汚れも徹底除去!

レーザー洗浄装置

レーザー照射によるクリーニング処理を実施します。
ステージ移動ができる上にテーブルが回転するため、 安全かつ強力に洗浄できます。

多種多様なワークの洗浄・研磨に対応!

クランプ研磨装置

複雑なワークに対しても、ご要望のプロセスに応じて、 最適な研磨・洗浄方法にてご提案いたします。
研磨パッドのサイズはプロセスに合わせて変更でき、 研磨負荷荷重を小刻みに設定できます。 また、複数種類の研磨液研磨剤の供給機構もございます。

3つのポイント

プロセスに合わせてカスタマイズ

お客様がこれまで培ってきたプロセスに応じてカスタマイズできるため、 装置導入が楽にできます。

生産性向上

自動で処理を実施することで処理速度が向上し、生産性が向上します。さらに重労働から解放され、人員削減にも寄与できるため、働き方改革の実現につながります。

品質向上

作業者による磨きムラやバラつきがなくなります。また洗浄残しがなくなり、歩留まりが改善するため、品質向上につながります。

導入効果

生産性

4 倍に
  • 1日処理枚数2枚から8枚へ
  • 作業の自動化による工数の削減
  • 重労働からの解放

※数値は一例です

品質の向上による磨き残し

0
  • 磨き残し0、磨き・洗浄後のワークの均一性確保
  • 作業者によるムラ、バラつき無し
  • 磨き残しによる差し戻し0
  • 微細部まで洗浄可能

※数値は一例です

導入後のスケジュール

  • 約3ヵ月後

    運用フォロー

    初期不良や操作不明箇所を明確にし、導入後正しく効率的に活用して頂くことを目的としたフォローを実施します。

  • 約6ヵ月後

    カスタマイズ

    運用していく上での改善要望などを吸い上げ、よりきめ細かな対応、お客様にとってより取り扱いしやすい装置になるようご提案します。

  • 約12ヵ月後

    年次点検

    装置を健全に永くご使用していただくため、予防保全の観点から、年次点検をご提案します。

※お客様の利用状況とご要望によって効果が異なる場合がございます

製品仕様

オーダーメイド品となっており、秘密情報もありますので、非公開とさせていただいております。
詳細はフォームよりお気軽にお問い合わせください。

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