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半導体治具洗浄装置

自動エッチング装置

必要な部分のみ、効果的にエッチング洗浄!

  • 生産性および品質向上!
  • 効率よいエッチング槽構造!
  • 高品質なのにコンパクト!
  • 環境にやさしい!

効率よく洗浄可能なエッチング式洗浄装置に、興味がありませんか?

  • 手作業では除去できない汚れがある
  • 洗浄にかかる時間的負担を減らしたい
  • 作業者による品質のばらつきがある
  • エッチングでの洗浄には興味があるが薬液(量)取り扱いに抵抗がある
  • ワークを薬液に漬け込みたくない
  • 設置スペースが限られており、導入に抵抗がある

その問題、『自動エッチング装置』が解決します!

コンパクトな構造

エッチング洗浄はワーク全体を薬液に浸し、洗浄するケースが多いなか、 当社では必要最低限の洗浄したい部分のみ効率よくエッチングすること ができるよう設計されております。
そのため大型の槽は必要ではなく、装置もコンパクトです。

強力な洗浄ができます!

細部にわたる高速洗浄

手仕上げでは洗浄しきれない微小部分に対しても、薬品を使用したエッチングをすることで確実かつ圧倒的な処理速度で洗浄することができます。

薬液が少量ですむからエコ!

環境にやさしい装置

効率よくエッチングしているため、仕様する薬液自体が少量で済みます。
また洗浄後の廃液処理量もごくわずかなため、工場運営にも環境にもやさしい装置です。

製品特徴

薬液が均一に浸かる状況を監視

高精度なワーク水平出し機構を搭載し、ワークの洗浄したい部分に均一に薬液を浸すことができます。

高精度な制御技術による全自動化

独自の制御技術により、全自動操作と流量制御の高精度化を実現しています。

安全性の確保

人・パーツ・環境・装置への安全確保を基本方針として設計・製作しております。薬傷防止、薬液の漏液防止、各種インターロック、各種労安法に準拠しております。

3つのポイント

生産性の向上

自動で処理を実施することで処理速度が向上し、生産性が向上します。さらに重労働から解放され、人員削減にも寄与し、働き方改革にもそうことができます。

品質の向上

作業者による磨きムラやバラつきがなくなります。また洗浄残しがなくなり、歩留まりが改善するため、品質向上につながります。

コンパクト

専有スペースがコンパクトなため、導入しやすいです。また薬液・廃液の量もわずかですむため、工場管理費が削減でき、環境にもやさしい装置です。

導入効果

生産性

4 倍に
  • 1日処理枚数2枚から8枚へ
  • 作業の自動化による工数の削減
  • 重労働からの解放

※数値は一例です

品質の向上による磨き残し

0
  • 磨き残し0、磨き・洗浄後のワークの均一性確保
  • 作業者によるムラ、バラつき無し
  • 磨き残しによる差し戻し0
  • 微細部まで洗浄可能

※数値は一例です

導入後のスケジュール

  • 約3ヵ月後

    運用フォロー

    初期不良や操作不明箇所を明確にし、導入後正しく効率的に活用していただくことを目的としたフォローを実施します。

  • 約6ヵ月後

    カスタマイズ

    運用していく上での改善要望などを吸い上げ、よりきめ細かな対応、お客様にとってより取り扱いしやすい装置になるようご提案します。

  • 約1年月後

    年次点検

    装置を健全に永くご使用していただくため、予防保全の観点から、年次点検をご提案します。

※お客様の利用状況とご要望によって効果が異なる場合がございます

製品仕様

表の隠れている部分は横スクロールで表示できます。

名称 薬液名 材質 容量/液温 備考
処理槽ユニット 処理槽 フッ硝酸
UPW
PP /R.T 処理槽水平確認センサー
OF面モニターカメラ4個
秤量タンク1 フッ硝酸 PP 1000cc/R.T 自然落下供給
秤量タンク2 UPW PP 1000cc/R.T 自然落下供給
廃液回収タンク フッ硝酸 PP 10L/R.T 自然落下供給
排水回収タンク UPW PP 10L/R.T 自然落下回収
緊急回収タンク フッ硝酸
UPW
PP 10L/R.T 手動バルブにて自然落下
薬液ユニット 薬液供給 フッ硝酸 PP 5L/R.T 通いタンク式

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